अर्धचालक ग्यास वितरण प्रणालीहरूको लागि उच्च-प्रदर्शन IGS सतह माउन्ट C सिल फिल्टरहरू
विवरण
HENGKO सतह माउन्ट फिल्टरहरू अर्धचालक OEM उपकरणहरूमा प्रयोग हुने एकीकृत ग्यास प्रणालीहरूको माग गर्ने आवश्यकताहरू पूरा गर्न डिजाइन गरिएको हो। ०.००३ µm मा उद्योग-अग्रणी निस्पंदन प्रदान गर्दै, यी फिल्टरहरूले १२० slpm मा ≥९९.९९९९९९९% (९-LRV) को कण अवरोध दक्षताका साथ असाधारण प्रदर्शन र विश्वसनीयता सुनिश्चित गर्छन्।
फिल्टर तत्व र आवासको लागि सिन्टर्ड गरिएको बलियो ३१६L स्टेनलेस स्टील पाउडरबाट निर्मित, यी फिल्टरहरू SEMI F86-0304 विशिष्टताहरूसँग अनुरूप छन्, जसमा C-सिल कन्फिगरेसनको साथ १.१२५” ग्यास वितरण प्रणालीहरूको लागि तयार पारिएको दुई-पोर्ट कम्पोनेन्टहरू छन्। तिनीहरूले १००°C मा ३.४ MPa को अधिकतम इनलेट प्रेसर र १००°C मा ०.६९ MPa को अधिकतम अपरेटिङ प्रेसर भिन्नतालाई समर्थन गर्छन्।
यी विशेष फिल्टरहरू, C-प्रकार र W-प्रकार सिल विशिष्टताहरूसँग उपयुक्त, कण रिलीजको साथ डाउनस्ट्रीम सफाई प्राप्त गर्दछ।
Ra को सतह फिनिशको साथबाहिरी भागमा < १.६ µm र Raभित्री भागमा ०.१३ µm भन्दा कम, तिनीहरू ४६०°C सम्म उच्च तापक्रम सहन डिजाइन गरिएका छन्। सजिलो एकीकरण र मोड्युलर डिजाइन अपग्रेडको लागि ईन्जिनियर गरिएको, यी फिल्टरहरूले स्थापना र मर्मतसम्भारलाई सरल बनाउँछन्, जसले अर्धचालक ग्यास वितरण र नियन्त्रण अनुप्रयोगहरूमा प्रणाली प्रदर्शनलाई अनुकूलन गर्न मद्दत गर्दछ।
उत्पादन सुविधा
▶ समग्रमा ३१६L स्टेनलेस स्टील निर्माण
▶ लघु डिजाइन, कम्प्याक्ट संरचना, ठाउँ बचत गर्ने
▶ उत्कृष्ट ग्यास प्रतिस्थापन र अवशोषण विशेषताहरू
▶ उच्च तापक्रम, उच्च चाप, र जंग प्रतिरोधी
▶ इलेक्ट्रो-पालिस गरिएको ३१६L स्टेनलेस स्टील हाउसिंग
▶ सजिलो र कुशल स्थापना र मर्मतसम्भार
▶ मेकानिकल सिलिङ, संरचनात्मक रूपमा माध्यममा वेल्ड नगरिएको
डाटाशीट
| प्राविधिक प्यारामिटरहरू | मानहरू |
|---|---|
| फिल्टर तत्व सामग्री | ३१६L स्टेनलेस स्टील सिंटर गरिएको पाउडर |
| आवास सामग्री | ३१६L स्टेनलेस स्टील |
| अधिकतम इनलेट चाप | ३.४ MPa @ १००°C |
| अधिकतम सञ्चालन भिन्नता | ०.६९ MPa @ १००°C |
| हेलियम प्रमाणिकरण चुहावट दर | १x१०⁻¹¹ सीसी/मिनेट |
| हेलियम परीक्षण चुहावट दर | १x१०⁻⁹ सीसी/मिनेट |
| सतह उपचार | बाहिरी सतह रा१.६ माइक्रोमिटर भन्दा कम |
| भित्री सतह रा०.१३ माइक्रोमिटर भन्दा कम | |
| अधिकतम सञ्चालन तापक्रम | ४६० डिग्री सेल्सियस |
| कण अवरोध दक्षता | ≥९९.९९९९९९९% (९-LRV) @ १२० slpm (सन्दर्भ MPPS, सबै कणहरू) |
| तल्लो तहको सरसफाइ | कण रिलिज:< ०.०३ कण/लिटर (< १ कण/फुट³) |
| अस्थिर:१० पीपीबी भन्दा कम आर्द्रता | |
| कण अवरोध आकार | ≥०.००३ माइक्रोमिटर |
| प्रवाह दायरा | ० ~ १२० प्रति मिनेट |
आकार
तपाईंले अर्डर गर्न सक्ने पार्ट नम्बर र साइज विवरणहरू यहाँ छन्:
| उत्पादन मोडेल | प्रवाह दर | उचाइ H (मिमी) | निस्पंदन परिशुद्धता | सफाई स्तर |
|---|---|---|---|---|
| Z01B-00637 को कीवर्डहरू | १० बजे | ५१.६ | ०.००३ माइक्रोमिटर | C |
| Z01B-00638 को कीवर्डहरू | ४० स्लिप प्रति मिनेट | ८२.९ | ०.००३ माइक्रोमिटर | C |
| Z01B-00687 को कीवर्डहरू | ८० स्लिप प्रति मिनेट | १२६.२ | ०.००३ माइक्रोमिटर | C |
| Z01B-00688 को कीवर्डहरू | १२० प्रति मिनेट | १६७.९ | ०.००३ माइक्रोमिटर | C |
सामान्य अनुप्रयोगहरू
W-सिल र C-सिलको साथ प्रयोगको लागि, १.१२५” र १.५” सतह माउन्ट मोड्युलर ग्यास डेलिभरी प्रणालीहरू।
हामीलाई आफ्नो सन्देश पठाउनुहोस्:
